6、2、管材及附件6.2 1 除了纯度与干燥度的控制外、洁净室的洁净度级别.是我们控制管道系统输送气体污染物粒子量级的重要依据 气体管道系统供气质量符合洁净室的等级要求。就能够满足工艺气体洁净度对粒子污染物的控制要求、关于管材选配原则,是这样考虑的,1 管材的透气性要小。1.对于不同材质的管道 其透气性能不同、如果管材本身透气性较大。而安装中不恰当地作了选用 那么。无论采取任何处理手段去除污染 都将无济于事。管材透气性见表1,防止大气中氧的渗透和腐蚀、不锈钢管和铜管最佳.对700mm长管路中水分的测定,见表2 2，气体中的水分主要来自管路系统，而管路系统中的水分,在很大程度上受周边环境湿度的影响，渗透对管路内的气质有很大破坏力 普通铜管内表面对杂质、尤其对水分的活性很高，因此，当使用这类管材时 切忌用溶剂或化学药品清洗。而应当用纯净气体吹扫 3、由于管道安装的环境可能在室外,即使在室内.环境空气也有一定的湿度、对铜管也有一定的影响。所以.使用铜管时，对铜管的吹扫时间应当延长，一般为不锈钢管的8。20倍。否则难以达到应有的效果.4，不锈钢管材的活性比铜管差,所以对要求较高的高纯，洁净气体来说。不锈钢管是一种较为理想的管材、对于在1，5级洁净室内.采用316L不锈钢管.对应国产品牌00Cr17Ni14Mo2、5。对于6、9级管路系统 视要求的高低可以采用316或者304不锈钢管,对应国产品牌分别为0Cr17Ni12Mo2.0Cr18Ni9,6。对氧气管路系统应根据使用条件和周边状况。可采用铜管。压缩空气管道，干燥度在 20、与.40、时.采用不锈钢管304 0Cr18Ni9、2,管材内表面吸附 解吸气体的作用要小.在不锈钢熔炼制材过程中，每吨可吸收大约200g的气体。所以 不锈钢材加工完毕、不仅其表面粘有各种污染物 而且在其金属晶格内也吸留有一定量的气体,这样 当管路中有气流通过时,金属所吸留的这部分气体会重新进入气流中.污染纯净气体,尤其当管内气流为不连续流动时,这类材料的作用好比吸附剂、通过气流时。管材对所通过的气体形成压力下吸附，气流停止通过时、管材所吸附的气体又形成降压解析 而解析的气体同样作为杂质进入管内纯净气体中。同时，吸附。解析周而复始。使得管材内表面金属也会产生一定的粉末。这种金属粉尘粒子同样污染管内纯净的气体。3,保持管材内表面光滑、耐磨损，管材的这一特性至关重要、为了确保输送的气体的纯净度、不仅要求管材内表面有极高的光滑度，而且应当具有很高的耐磨特性 这样。既防止污染粒子及湿气在管壁滞留,管材本身在气流的高速冲刷。击、下,由于磨阻损耗低，也避免了管材的金属粉末进入气流中,造成气体的污染 不锈钢管和铜管的不同见表3,2。为提高内表面的相对粗糙度，要在管材生产工艺中加以解决,如特殊拉拔。光亮退火.内面电抛光等。比起在施工过程中加以处理要有效和可靠。因此要使用成品专用管,一般不能在现场加工，处理使用,4,具有良好的抗腐蚀性能.在生产工艺中.使用腐蚀性较强的气体时。必须选用耐腐蚀的不锈钢管材作配管 否则、管材将会由于腐蚀而在内表面产生腐蚀斑。严重时会出现大片金属锈班剥离甚至导致管道穿孔,从而污染输配的纯净气体,这种场合不得使用普通无缝钢管或镀锌焊接钢管,5，在焊接处理时管材组织不发生变化,大流量的高纯，高洁净度气体输配管道的连接.原则上全部采用焊接。因此要求采用的管材在施焊时组织不发生变化。如果选用钢管 则低碳钢管材 316L,较为适宜。否则,含碳过高的材料在焊接时.受焊接热影响的部位可析出炭来,从而产生局部腐蚀应力,造成焊接部位的透气,使得管内外气体的相互渗透、破坏输送气体的纯度,干燥度和洁净度,导致各项努力全部失去意义、6 2，2。洁净室内的管材有具使用的特殊性，从进货.验证。保存。下料.焊接、装配。试压 吹除 运行等工序都有着严格的要求。所有这些内容与程序,都是管道系统质量的技术保障措施、因此、条文规定比较详细,以下几点应特别注意,1.洁净管材十分珍贵,进货不能像普通管材那样随意码放。不仅要保持外观的清洁。包装纸完好，更要防止磕碰,更重要的是保持内表面的粗糙度与光滑不受破坏。2 管端头的密封罩盖，甚至管外壁的包装纸都应完好无损，否则便成为施工单位的保管失职.3。由于特殊拉拔工艺生产的内表面。光亮退火BA、管材及内面,电研磨抛光的EP，管材,加工工艺复杂、价格昂贵,市场、内壁光滑洁净管、效果良莠不齐。不仅与国外的水平差距较大 国内各厂家的产品效果也相差甚远.必须进行相应的粗糙度的检测。验证其可靠性与真实性.确保施工起点高。从源头消除隐患，确保洁净室内相应级别的管道施工质量 因此.随机抽检内表面的粗糙度是否与设计相符，是否与出厂参数相符，是洁净管道施工的一项重要的程序 系统内表面加以处理、对减少管材自身可能造成的污染十分有效，目前,研磨，电抛光是管材内表面处理的最佳方式、如果在机械加工后经电抛光,则管路系统内表面的粗糙度会得到较大的改善。见表5,为确保输送气体的质量经过管道输送不发生变化增大了可靠性.6 2、5,管路附件材质最低应与主管材质一致.在采用铜材的管路系统中,可以采用不锈钢材质的管路附件。而在采用不锈钢材质的管路系统中、不得采用低于主管材的铜材质的管路附件、而且 凡是与应用气体接触的管路系统 均不得含有塑料制件.不锈钢管的耐磨性能优于铜管，在气流冲刷下产生的金属粉尘相对也少，对洁净度要求高的场合使用不锈钢管316L。316,304.不得采用铜管材,铜管内表而对杂质、尤其对水分的活性很高 因此、当使用这类管材时,切忌用溶剂或化学药品清洗 而应当用纯净气体吹扫,清洗也比不锈钢材难度大。而且在微电子生产中。个别生产工艺.如砷化镓的操作。为了防止产生器件电阻,不允许使用铜质管路及其附件,由于管道安装的环境空气也有一定的湿度，对铜管也有一定的影响、所以 使用铜管时.对铜管的吹扫时间应当延长,一般为不锈钢管的8，20倍。