6.2。管材及附件6.2 1,气体系统管道材质及附件，应按设计要求选配，如设计未作明确要求 选用时应与洁净室洁净度级别和输送气体性质相适应，并应符合下列规定 1。应使用无缝管材，2、管材内表面吸附、解吸气体的作用小 3、管材内表面应光滑，耐磨损,4 应具有良好的抗腐蚀性能。5。管材金属组织在焊接处理时不应发生变化。6.负压管道不宜采用普通碳钢管 6、2.2 所用管材应放在室内保管。不得重叠码放,管道应无裂纹 缩孔,夹渣.起瘤，折叠.重皮,锈斑、表面损伤等缺陷 管道应平直 圆滑，6.2、3。成品管外包装和相应管端头的管帽 堵头等密封措施应有效。无破损.6、2。4.氧气阀门必须采用专用产品,其密封圈应采用有色金属,聚四氟乙烯等材质，填料应采用经脱脂处理的聚四氟乙烯.6、2。5、采用铜材的高纯气体管路，可用不锈钢材质的附件.但在不锈钢材质的管路中.不应采用铜质的附件,