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G。2,压力衰减法G.2 1,测试系统如图G 2,1所示,G、2.2.可按以下步骤进行检测1、将所测洁净室的温度控制在设计范围内并保持稳定,记录压力衰减测试过程中室内温度的变化、温度计或温度传感器的最小示值不宜大于0.1 2.关闭所测洁净室围护结构上的门,传递窗等、关闭回风管,或排风管。上的气密阀门,不得在风口上加其他密封措施、并维持各种孔洞缝隙的密封现状 3 开启送风,使室内压力上升至已商定的测试压力 压力计量程至少为测试压力的1。5倍,最小示值不宜大于10Pa,压力稳定后 停止送风.关闭送风阀门,4.或反之关闭送风管上的阀门.如果送风管上无阀或阀不严、应在送风口上用塑料膜加盲板的方法封住风口。开启排风.使室内压力下降至已商定的测试压力.压力稳定后.停止排风 关闭排风气密阀门.5,从停上送 排、风起,记录压力随时间衰减的数据、每1min记录1次压差和温度 连续记录至室内压力下降至初始压力的一半时止,6。测试结束后慢慢打开风阀、使房间压力恢复到正常状态,7,如果需要进行重复测试,20min后进行,8,当不用风机时也可用空气压缩机或真空泵、G.2,3、检测报告应包括以下内容,1。检测条件、包括室内温度等。2、检测方法包括检测所用仪器设备规格型号及精度 所测洁净室压力、温度的动态变化、检测持续的时间。3、检测结果包括所测洁净室压力下降至初始压力的1、2时的时间内压力衰减率,所测洁净室围护结构严密性的评价、

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