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G.3.恒,压。法G,3 1、测试系统如图G 3,1所示,G 3、2.可按以下步骤进行检测.1.将所测洁净室的温度控制在设计范围内并保持稳定。记录测试过程中室内温度的变化、温度计或温度传感器的最小示值不宜大于0,1,2.关闭所测洁净室围护结构上的门,传递窗等。关闭回风管.或排风管。上的阀门,如果风管上无阀或阀不严.应在回风口 或排风口、上用塑料膜加肓板的方法封住风口。3.开启送风 使室内压力上升至500Pa 停止送风。关闭送风阀门,通过围护结构上的孔洞和导管、由送风机或空气压缩机向室内补气 通过调节安装在导管上的调节阀调整补气流量,以维持洁净室内的压力稳定不下降,每隔1min记录一次补气管路上浮子流量计读数 此数即为漏气量,测试持续的时间宜不超过5min。取平均值,4、反之关闭送风阀 开启排风。当室内压力下降至,500Pa时关闭排风,开启真空泵保持室内压力,记录真空泵抽气量.此数即漏泄量、5.测试结束后慢慢打开风阀。使房间压力恢复到正常状态,6.如果需要进行重复测试.20min后进行,7,当不用风机时也可用空气压缩机或真空泵、G,3 3 检测报告应包括以下内容,1.检测条件,包括室内温度等。2,检测方法包括检测所用仪器设备规格型号及精度.室内温度的动态变化.漏泄量的动态变化、3、检测结果包括所测洁净室5min内的每小时漏泄率 所测洁净室围护结构严密性的评价,

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