11、5、工艺设备安装11、5,1、工艺设备的安装不应影响洁净室参数和服务功能.11.5 2.工艺设备安装时。现场的净化空调系统应已连续运行24h以上，现场除正常照明外。应配备三相380V.单相220V和低压行灯电源.11，5。3、任何用于大设备的提升。牵引或定位的专用设备在进入洁净室安装现场前。应彻底清洁,并应检查有无脱屑,剥落的表面或不宜进入洁净环境的材料。11.5.4,设备安装时应妥善保护墙壁与地面，设备的软胶轮应予包裹、避免在地面拖磨.开洞作业不应划伤或污染所在表面。设备安装位置穿越不同洁净级别区域时.穿越处缝隙应用柔性材料填充、密封。并应装饰处理,11。5。5、设备安装时宜在设备周围设临时隔离墙,设备周围应留出足够的安装空间,隔离区内应阻断正压送风.进入隔离区的人员应按进入洁净区要求,11.5、6.除设计有明确要求外。设备的安装宜不作永久性固定、不采用地脚螺栓方式。宜安装成可移动性的半固定式，11、5 7、无脚轮的设备安装就位时、应有承重部位地面的保护措施 11 5。8，设备离墙距离应能满足维修和清扫要求，当靠墙安装时,与墙间的缝隙应密封。11 5，9、设备底面应抬离地面80mm 150mm.不能抬高这一距离时,应落地安装.与地面间的缝隙应密封。11,5，10，水池、水槽等用水设备与围护结构接触的边沿部位的缝隙应密封。11、5.11,设备配管配线所用各种管线原料和垫料.填料等辅料应对产品和环境无不良影响。应避免在洁净环境中进行材料加工.当不可避免时。应采取防止粉尘扩散措施、11 5 12,当设备较高无法擦拭到顶部时.应采取可以清扫的措施，11 5、13。应在设备找正、调平后进行设备二次配管、配线、