E，4.微粒计数浓度的检测E。4、1.室内检测人员应控制在最低数量.不宜超过2人 面积超过100m2又需快速完成测定任务时.可适当增加人数、人员必须穿洁净服，应位于测点下风侧并远离测点,动作要轻，保持静止 E。4，2,0.1μm至5μm微粒的检测应符合以下要求.1、当采用光学粒子计数器。OPC.测定0，1μm至5m的微粒计数浓度时.应按本规范第16.4。5条第1款给出的公式计算空气洁净度级别 粒子计数器粒径分辨率应小于等于10.粒径设定值的浓度允许误差应为 20 并应按所测粒径进行标定，符合现行国家标准、尘埃粒子计数器性能试验方法,GB。T6167的规定,2。测点数可按式,E、4、2，1、求出,3.每一受控环境的采样点不宜少于3点、对于洁净度5级及优于5级以上的洁净室。应适当增加采样点。并得到用户。建设方,同意并记录在案 4.采样点应均匀分布于洁净室或洁净区的整个面积内,并位于工作区高度.取距地0 8m.或根据工艺协商确定，当工作区分布于不同高度时，可以有1个以上测定面,乱流洁净室,区.内采样点不得布置在送风口正下方，5.如建设方要求增加采样点 应对其数目和位置协商确定 6、每一测点上每次的采样必须满足最小采样量。最小采样量根据、非零检测原则 由下式求出。7、每点采样次数应满足可连续记录下3次稳定的相近数值 3次平均值代表该点数值，8。当怀疑现场计算出的检测结果可能超标时、可增加测点数,9,测单向流时。采样头应对准气流 测非单向流时.采样头一律向上。10，当要求0 1μm 5μm微粒在采样管中的扩散沉积损失和沉降、碰撞沉积损失小于采样浓度的5，时、水平采样管长度也应符合附录D 3 6条的规定.11 若采样口流速与室内气流速度不相等.其比例应在0。3,1。7。1之间、12、当因测定差错或微粒浓度异常低下,空气极为洁净、造成单个非随机的异常值.并影响计算结果时.允许将该异常值删除，但在原始记录中应注明,每一测定空间只许删除一次测定值。并且保留的测定值不少于3个 13。对于需要很大采样量 耗时很大的某粒径微粒的检测、可采用顺序采样法、即将每次测定结果标注于图E.4,2上.当标注点落入不合格区时，即停止检测 结果为不达标。当标注点落入合格区时.停止检测、结果为达标。当标注点一直在继续区中延伸.而总采样量已达到表E,4。2、2的最小采样量。累计微粒数仍小于20。即停止检测。结果为达标、当标注点一直在继续区中延伸，而总采样量未达到最小采样量,但累计微粒数已超过20，即停止检测，结果为不达标。E,4,3,对小于0.1μm的超微粒的检测,应采用适合这类微粒具体特性的采样装置组合使用 可采用凝结核计数器.CNC或CPC、加静电式分级器。迁移率分析仪 DMA,凝结核计数器,CNC或CPC,加扩散式分级器、DB,等、但必须有明确的性能说明书。或有自检报告,对所测超微粒的最低粒径的计数效率应达到50、采样点数目应与E 4.2条对0.1μm、5μm的要求相同。E、4,4、大于5μm的大,宏。微粒的检测应符合下列要求、1、用光学粒子计数器检测时应遵守下列规定，1。粒子计数器应经过大微粒的标定。符合现行国家标准,尘埃粒子计数器性能试验方法，GB，T。6167的规定,对洁净室为6级或优于6级的洁净室的测定.应采用不小于28。3L.min的计数器。对其他级别洁净室的洁净度应采用不小于2,83L。min的计数器.2。当用28.3L,min计数器时 水平管不应长过0。5m,当用2.83L.min计数器时、原则上不宜有水平管，3。采样口面积应按等速采样原则确定 室内风速取平均风速、2 用过滤器采集,显微镜检测时，应遵守下列规定，1，过滤器为孔径应小于等于2μm的滤膜,当过滤器采样口直径为25mm时、真空泵采样流量不小于7L、min、当过滤器采样口直径为47mm时.采样流量不小于28.3L，min 对于非单向流洁净室 总采样量不小于28。3L、min 对于单向流洁净室。总采放量不小于280L.min,取下滤膜。将滤膜放在清洁的盖玻片上、图E,4,4，采样面向上.放进有50、左右丙酮蒸汽的烧杯内熏蒸、对容积为600mL的烧杯、大约加入15mL丙酮.当做过3次样片时.再加入15mL丙酮,待滤膜透明后取出.再将盖玻片反向固定在载物片上，用铝箔圈或纸圈将盖玻片与载物片隔开,熏后在盖玻片四周用膜或蜡封住.2、计数时应把制好的标本片固定在显微镜,100倍 工作台的适合位置上,一张标本片上计数总面积不小于0.02、4mm2，在检测中应不断调整 3，测定之前，必须先测出使用的同一批滤膜的基数密度。最后的计数浓度由下式得出,