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附录D 洁净室 区 工程测试D,1、风量和风速的检测D,1,1、风速检测仪器宜采用热风速仪.三维或等效三维超声风速仪,叶轮风速仪,风量检测仪器可采用带流量计的风量罩,文丘里流量计 孔板流量计等。D 1,2.单向流洁净室系统的系统总风量 室内截面平均风速和风口风量的测试应符合下列规定。1.单向流洁净室室内风速的测试。其测试平面应为垂直于送风气流 距离高效空气过滤器出风面300mm处,测试平面应分成若干面积相等的栅格、栅格数量不应少于被测试截面面积,m2,10倍的平方根数 测点应取在每个栅格的中心。全部测点不应少于5点。直接测量过滤器面风速时.测点距离过滤器出风面应为150mm。测试面应划分为面积相等边长不大于600mm,600mm的格栅,测点应取在每个栅格的中心。每一风速测点持续测试的有效时间不应少于10s,并应记录最大值,最小值和平均值 单向流洁净室.区,的总送风量应按下式计算 式中。VCP.每个栅格的平均风速.m,s A,每个栅格的面积.m2 2、单向流洁净室气流风速分布的测试,应由建设方、测试方共同协商确定。且宜在空态下进行、风速分布测试应取工作面高度为测试平面.平面上划分的栅格数量不应少于测试截面面积,m2,10倍的平方根数,测点应取在每个栅格的中心,风速分布的不均匀度β0应按下式计算.其数值不应大于0、25,式中。v,各测点风速的平均值 s、标准差。当洁净室内安装好工艺设备和工作台后,若还需进行风速分布测试时、其测试的实施要求,合格判断规定等应根据工程项目的具体情况由建设方.测试方共同协商确定,D,1、3,洁净室系统风口风量的检测应符合下列规定。1、安装有高效过滤器风口风量的测试,应根据风口形状采用加接辅助风管的方法 辅助风管应采用镀锌钢板或其他不产尘材料制成 形状及内截面应与风口相同,长度不应小于2倍风口长边长的直管段,并应连接于风口外部,应在辅助风管出口求取的风口截面平均风速和风量.并应按附录E。2的规定执行 2 当风口上风侧有2倍风管长边长度的直管段,且已有预留测孔或可以设置测点时,风量宜采用风管法测试、并应按附录E,2的规定执行 3 常规风口的送风量宜采用带有流量计的风罩仪进行直接测量 测量时风罩的开口应全部罩住被测风口,不应有泄漏,4,风口的上风侧已安装有文丘里或孔板流量装置时,可利用该流量计直接测量该处的风口风量.

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