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C.8,密闭性测试C,8,1、本节适用于确认有无被污染的空气从相邻洁净室、区、或非洁净室.区 通过吊顶 隔墙等表面或门,窗渗漏入洁净室。区.适用于1级至5级的洁净室 区,进行测试,可采用光度计法和粒子计数器法进行测试.C,8、2、采用粒子计数器法时。测量被评价表面的洁净室 区.外部的空气中悬浮粒子浓度.应大于洁净室、区.内的浓度104的倍数 并应至少大于或等于3。5。106。m3.其空气中悬浮粒子浓度不符合要求时 应添加气溶胶提高浓度,粒子计数器扫描时。仪器应距离洁净室。区 内待测试的接缝密封处或啮合面5cm.10cm、扫描速度应为5cm s、对敞开的门廊处的测试.应在距离洁净室,区。内敞开的门0,3m 3,0m处检测空气中悬浮粒子浓度。C、8,3。采用光度计法,测量洁净室。区。内侧被评价表面的空气中悬浮粒子浓度.在光度计0,1、档的设定值时.光度计的读数超过0,01.即确认存在渗漏。并应做记录

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